산업 개요
반도체 내식용 소재는 파티클과 금속 불순물 최소화, 할로겐 가스 및 강산 환경 대응, 고청정 공정 적합성이 핵심입니다. 공정별 요구와 권장 소재를 기반으로 안정적인 공급을 지원합니다.
핵심 요구 사항
- 할로겐 가스 및 산성 환경 대응
- 진공·가스·습식 라인 안정성 확보
- 청정도 / 고온 저항
주요 적용 분야
| 적용 분야 | 권장 소재 | 포인트 |
|---|---|---|
| 진공 챔버 | Ni 201, Inconel 625 | 청정도 / 고온 저항 |
| 웨트 벤치 | Ni 200, Ti Gr.2 | 내식성 / 화학 안정성 |
| 가스 전달 시스템 | 316L EP, Ni Alloy | 내부 청정 / 내식성 |